由微电子机械系统(MEMS)技术加工的微机械陀螺仪具有体积小、重量轻、成本低等优点,因而在许多领域具有非常广阔的应用。电容式微机械陀螺仪是目前微机械传感器研究的重点。通过调研及分析国内外微机械陀螺仪的发展现状,本论文提出了一种静电梳齿驱动、栅结构电容检测、具有解耦结构的电容式微机械陀螺仪,该结构的空气阻尼主要为滑膜阻尼,在大气下可以实现较高的Q值。论文介绍了陀螺工作的基本原理,对动力学方程进行了分析。同时,讨论了静电梳齿驱动原理、电容检测原理以及空气阻尼等结构设计的相关理论。通过理论研究和仿真分析相结合,确定了电容式微机械陀螺仪的结构参数。在此基础上,具体讨论了陀螺的工作频率、阻尼、Q值、灵敏度等。结合加工单位的工艺条件,设计了电容式微机械陀螺仪的工艺流程及版图。同时,对陀螺的封装进行了简单的分析。考虑到误差以及残余应力对结构性能的影响,本文从正交误差、机械耦合误差、轴向加速度、噪声以及温度等方面对影响传感器性能的因素进行了的分析,并提出一些降低误差源的方法。同时,对结构残余应力的产生及影响进行了分析,在结构设计上采用可以降低残余应力的结构释放孔,并采用拉曼散射光谱仪对本结构的残余应力进行了测试。此外,针对了电容式微机械陀螺仪的工作方式设计了驱动及检测电路,并对结构进行了初步的测试,得到陀螺驱动模态的固有频率为2.66kHz,结构的灵敏度为0.0279 V/°/s。