基于SOI的三轴电容式微加速度计的设计、仿真与工艺研究

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【摘要】

：

微型化是当今科学技术的重要发展方向,微系统(微机电系统,MEMS)是实现和利用微型化的关键技术之一。MEMS器件以其微型化、功能多样化、生产批量化、多学科交叉等特点受到了诸多国家的重视与研究,并取得了可观的成果。SOI技术的发展,使MEMS与集成电路兼容性大大提高,更进一步促进了MEMS的发展。作为MEMS重要研究方向之一的微加速度计,也在迅猛发展,并且基于SOI的微加速度计是未来惯性测量、制导的

【作者】

：

宋文平

【机构】

：

电子科技大学

【发表日期】

：

2017年01期

【关键词】

：

MEMS 三轴电容式微加速度计 SOI 有限元

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