基于半导体金属氧化物多孔薄膜气体传感器的研究

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基于金属氧化物材料的半导体气体传感器由于其不可替代的优势特点,如高灵敏度,小尺寸,成本低和简单易制造,已经开发出多种应用,如工业排放控制、居民生活、粮食安全检测、医疗诊断、易爆及有毒气体报警器和环境监测等各个领域。气体传感器的特性,如灵敏度,响应时间,选择性,稳定性和重复性等,很大程度上受比表面积、施体密度、孔隙率、催化剂存在和气敏材料的感测温度等诸方面因素影响。制备高性能的传感器,合成方法是最关键的参数之一,因其可以控制最终的金属氧化物的传感特性,特别是对于灵敏度和长期稳定性。比表面积、晶向、氧化
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