【摘 要】
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近年来，为了提高太阳能电池的转换效率，人们一直在研究怎样降低单晶硅表面的光反射率。在硅表面制备减反结构已经成为研究的热点，人们已经在实验上制备出了各种微纳结构，如金字塔结构、纳米柱结构、纳米圆锥体结构等。蛾类等昆虫用各种方法躲避天敌的发现，研究发现光线不论从哪个角度入射到其眼睛都不会产生明显的反射，具有全向宽波段减反特性。“蛾眼”效应的发现，为减反的研究带来了新的活力，并由此发展了多种制备方法，用
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近年来，为了提高太阳能电池的转换效率，人们一直在研究怎样降低单晶硅表面的光反射率。在硅表面制备减反结构已经成为研究的热点，人们已经在实验上制备出了各种微纳结构，如金字塔结构、纳米柱结构、纳米圆锥体结构等。蛾类等昆虫用各种方法躲避天敌的发现，研究发现光线不论从哪个角度入射到其眼睛都不会产生明显的反射，具有全向宽波段减反特性。“蛾眼”效应的发现，为减反的研究带来了新的活力，并由此发展了多种制备方法，用以获得能够模拟这种结构的亚波长结构渐变折射率减反膜层。在本论文研究中利用单晶硅碱腐蚀各向异性特性和金属辅
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