现代工业生产中,产品的尺寸越来越小,产品精度的要求越来越高,促使现代加工方法不断向微细、高精度方向发展。微细电火花线切割加工(MWEDM)以其非接触、高精度、低加工应力的优势在微型零件加工领域获得了越来越广阔的发展空间。微细电火花加工中放电间隙及放电脉冲的控制是决定加工速度、精度、表面质量以及加工的连续性、稳定性的关键因素,本文重点对此进行了研究。本文分析、总结了当前国内外电火花放电检测及超声调制电火花放电的研究现状及发展趋势,分析了微细电火花线切割放电机理及极间状态变化,研究了超声振动调制脉冲放电机理及其对极间放电通道的影响。在此基础上设计了平均检测和实时检测相结合的极间放电状态检测方案,分别用于伺服控制和脉冲电源控制,对超声调制脉冲电源放电提高电火花加工质量的方法进行了探索研究。在理论分析的基础上,设计了以DSP为控制核心的软、硬件系统。脉冲电源实现了微秒级以下脉宽的脉冲放电加工。平均检测系统能够检测极间状态,准确指导伺服进给。实时检测系统能够对每个脉冲放电状态进行判别,模糊控制算法根据实时判别结果进行模糊推理、模糊判决,实现对脉冲电源放电参数的动态调节,提高了微细电火花线切割加工质量。将超声振动应用于微细电加工,跟踪超声振动极间电场强度的变化控制脉冲电源放电,分析了其加工机理,研究了其对电火花加工质量和效率的影响。本文进行了大量的实验研究。对微细电火花线切割加工工艺规律、伺服参考、模糊控制优化脉冲参数、超声调制脉冲放电等进行了研究,优化了系统参数,提高了微细电火花线切割加工质量和效率,实现了微型零件的加工,充分验证了系统良好的性能及稳定性。详细研究了超声振动对微细电火花线切割加工效率和质量的影响,探索了提高加工质量的方法。