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该文采用离子溅射法分别在A、B和C三类基板表面镀金属膜,用氢气在高温下对金属膜进行还原;然后使用经过还原的金属膜催化裂解低碳烷烃法,制备碳纳米管薄膜.对于A类基板,考察了镀金属膜的条件、蚀刻、氨水处理、还原条件和碳源组成等条件对产物形貌的影响.该文还采用D类基板,用洗液或硝酸处理后直接用于还原、催化裂解反应,同样可以制备出碳纳米管薄膜.