本文采用化学共沉淀法和溶液燃烧合成法制备铟、锡、锑多元金属氧化物。通过X-射线衍射分析(XRD)、扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)对产物进行表征,分析其晶型结构、粒径以及形貌。研究表明：共沉淀法和溶液燃烧合成法都能制备出铟、锡、锑多元金属氧化物,原子都有相应的掺杂,而且掺杂并没有引入新的相,并且借鉴ATO/ITO的制备方法成功制备出了铟、锑二元金属氧化物和铟、锡、锑三元金属氧化物。以SnCl4、SbCl3、In(NO3)3和氨水为原料,利用共沉淀法制备了多元金属氧化物。并以ATO为例,系统地研究了不同反应条件如反应体系pH值、前驱体洗涤次数、前驱体煅烧温度对产物的晶型结构、粒径的影响。随着反应体系的pH值升高,ATO粉体的衍射峰变弱,pH=2时,其衍射峰强度最强；增加前驱体洗涤次数和降低煅烧温度都会使ATO粒径变小。而在溶液燃烧法中,以SnCl4、SbCl3、In(NO3)3、硝酸钠和尿素为原料,燃烧合成了铟、锡、锑多元金属氧化物。并以ATO为例,系统地研究了不同反应条件如Sb/Sn掺量比、煅烧温度、煅烧时间对产物的晶型结构、粒径、形貌的影响。随着Sb/Sn掺量比增大,ATO特征衍射峰变弱,但晶粒尺寸没有太大变化,由SEM和TEM可以看出粉体有团聚,并且颗粒呈不规则球形。但是原子比例和投入比例不一致,有偏析。随着锻烧温度的升高,粉体晶化完全,粒径变大,粉体颜色也变蓝。而煅烧时间和晶粒尺寸呈线性关系,并不改变其晶型结构。