微显示(microdisplay)是一种利用微型的显示器件及其光学系统来显示数字化信息的技术。微显示器技术之关键是将显示电视图像或计算机图像的全部像素集成至一片集成电路硅片上。通常将对角线尺寸小于3英寸(7.62㎝)的平面显示器称为微显示器。便携性、高亮度、低功耗、高清晰度及无线连接是当今对电子显示技术提出的主要要求。微显示器在手机,数码相机,大屏幕投影,高清数字电视,虚拟显示都有广泛的应用领域和市场价值。数字显示系统的便携化和微型化、集成化颇受大家关注,为微型显示系统的研究提供了良好的基础。本文首先对微显示的三大主流技术:液晶显示技术(LCD)、数字光处理技术(DLP)、硅基液晶技术(LCoS),在基本特征,各自的优缺点、光学技术特性、潜在的威胁等等各方面进行了详细的比较。本文对微显示里面的微镜扫描进行理论研究与分析,特别是动态变形理论和高速扫描分辨率的研究,目前国内还没有见到类似理论研究和分析的报道。本文一方面从扫描微镜的机械动力学动力学入手,通过对二阶系统线性和非线性特性的讨论,对扫描中的弹性,共振,机械震动等问题一一分析推导,得出微镜的动态变形理论。本文另一方面从扫描微镜的光学入手,推导得到扫描的光学分辨率是由微镜的长度和转角的乘积所决定的。并且还分析动态变形对分辨率的影响。并且对微镜的扫描角度,分辨率,反射率,功耗,成本,控制性,可靠性,耐久性等性能进行了全面的分析。最后基于以上的研究分析,设计了单片混合集成的微镜扫描显示结构,提出基于单扫描微镜的“点扫描成像”则是实现微显示系统的一个很好的解决方案。