【摘 要】
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该文首先阐述了质子交换LiNbO波层结构特性、质子浓度分布、折射率分布基本理论,论述了折射率测量方法迭代法.并用三维FD-BPM法对的质子交换LiNbO波导传输模式进行了研究,确定符合器件设计要求的单模波导的尺寸和工艺参数.该文对质子交换LiNbO单Y相位调制器的重要部件Y分支进行了深入的研究,比较了不同S弯曲形式的Y分支过滤长度与损耗的关系,并计算出间距250μm时的最小弯曲长度.对于调制器的电
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该文首先阐述了质子交换LiNbO<,3>波层结构特性、质子浓度分布、折射率分布基本理论,论述了折射率测量方法迭代法.并用三维FD-BPM法对的质子交换LiNbO<,3>波导传输模式进行了研究,确定符合器件设计要求的单模波导的尺寸和工艺参数.该文对质子交换LiNbO<,3>单Y相位调制器的重要部件Y分支进行了深入的研究,比较了不同S弯曲形式的Y分支过滤长度与损耗的关系,并计算出间距250μm时的最小弯曲长度.对于调制器的电极该文也进行较为深入的研究,探讨了电极宽度、改进了该实验室常用的测试方法并测试了器件的指标.由于条件所限,论文中仅测量了直波导损耗系数、相位调制器的半波电压和输出分束比.经测量,半波电压小于5V,直波导损耗系数为0.22dB/cm,输出分支比为52/48.其它性能指标还需要在芯片封装完成后作进一步的测量.
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