本文在分析了中大功率IGBT特性、工作原理及应用背景的基础上，将其作为材料表面防护处理的特种脉冲电源主功率开关器件。针对电源设备的进一步功率扩容要求，采用了IGBT扩容的并联方法，从理论上分析了影响IGBT并联动静态不均流的各种因素，提出了相应的解决措施，并进行了仿真分析。针对IGBT工作过程中出现的电压尖峰、电流尖峰和大的开关损耗问题，本文首先从理论上详细分析了IGBT逆变桥缓冲电路的工作原理，推导出缓冲电路各元件的参数计算公式，讨论了缓冲电路各元件参数对关断电压波形的影响并进行了仿真分析。在此基础上，针对特种脉冲电源的具体要求，将IGBT的并联扩容方法和抑制电压尖峰的缓冲电路设计方法，成功用于这种特种脉冲电源中，进一步验证了采用IGBT模块并联扩容的可行性和辅助缓冲电路的有效性。