寻找新能源是人们解决能源危机的有效途径。太阳能是一种取之不尽、用之不竭的清洁能源,而光伏发电是太阳能利用的重要组成部分。近年来,在各国利好政策的支持下,光伏产业发展迅猛。晶体硅太阳电池以其成本低廉,转化效率高的优势一直在光伏市场占据主流地位。晶体硅太阳能电池的薄片化是进一步降低电池成本的关键技术。为了有效利用太阳光的能量；对晶体硅太阳能电池表面减反射结构的研究变得十分关键。本文围绕晶硅电池表面的减反射结构,做了一系列的研究。本文研发了一种新型碱制绒添加剂,该添加剂在反应过程中能够完全取代异丙醇的使用并制得绒面均匀的减反射结构,有效的降低了生产成本。在此基础上,对不同配方碱制绒形成的1、5、10μm以及200nm的金字塔结构进行了研究,金字塔的尺寸并不是影响反射率的主要因素,在绒面结构均匀性相似的情况下,1、5、10μm结构之间的反射率没有太大的差别,几何光学模拟结构也与实验结果相吻合。1μm结构制成电池后效率最高,这主要是由于该结构均匀性及电极的接触较好。在酸刻蚀单晶硅片的过程中,富氢氟酸体系可以得到微凸起状结构,当HF浓度提高时,微凸起的密度增大但深度不断的变小,随着反应时间的增大,微凸起以沟壑为中心向整个硅片扩散。在富硝酸体系中当硝酸浓度较高时能得到减反射效率不佳的气泡状结构,当其浓度低时能形成沟壑状结构。本文结合金属催化腐蚀法和碱腐蚀法在单晶硅表面得到倒金字塔结构,比较了不同反应条件下倒金字塔的形貌和反射率特性。本文利用种晶-生长两步法直接在单晶硅太阳能电池表面生长排列整齐的氧化锌纳米棒结构,该结构能起到很好的减反射作用进而提高电池的效率。氧化锌纳米棒结构能在500-1100nm波段降低反射率,减反效果最好的纳米氧化锌结构能提高3%的电池效率。