【摘 要】
：
该论文系统研究定向金刚石薄膜、纳米金刚石薄膜、掺硼金刚石薄膜和AlN/diamond复合膜等新型CVD金刚石薄膜,详细阐述了这几种新型金刚石薄膜制备过程和生长参数控制,并利用拉
论文部分内容阅读
该论文系统研究定向金刚石薄膜、纳米金刚石薄膜、掺硼金刚石薄膜和AlN/diamond复合膜等新型CVD金刚石薄膜,详细阐述了这几种新型金刚石薄膜制备过程和生长参数控制,并利用拉曼光谱、扫描电镜、X射线特征能谱和X射线衍射仪以及二次离子谱等分析手段对薄膜的性质结构进行了分析,完成了新型金刚石薄膜的基础研究,并制备了性能优秀的薄膜器件:大面积纳米晶作为场发射器件;掺硼金刚石薄膜电子硬度计压头和新型掺硼金刚石薄膜电极;AlN/diamond复合膜表面声波滤波器.该论文在以下几个方面取得创新结果.1:利用微波增强化学气相沉积法,通过偏压成核和严格控制生长条件,在单晶硅表面制备结晶结构完美的定向金刚石薄膜.2:使用偏压辅助恒流控制热丝化学气相沉积法在硅(Si)基板上制备大面积(直径100毫米)均匀颁纳米金刚石.3:使用微波增强化学气相沉积法成功制备了高掺硼金刚石薄膜,并研究了金刚石薄膜的表面导电性以及高掺硼金刚石薄膜作为电子硬度计压头和金刚石电极器件的应用.4:通过电子回旋共振微波增强化学气相沉积法在低温下(350°~550°)使用N<,2>、Ar和AlCl<,3>蒸气成功在金刚石薄膜和Si基板上制备了C轴定向AlN薄膜.并制备了原型AlN/Diamond结构高频表面声波滤波器.
其他文献
该文通过对白光干涉原理的分析得出了其应用于应变测试的具体方法,在此基础上,进行测试系统样机的制做.用单片机系统实现了扫描平台的控制及数据采集,编制了下位机系统软件.
有效提高课堂教学效率一直是我们小学语文教师不懈的追求。提高课堂的效率，就是在四十分钟内获得最高的效益，让不同层次的学生有不同的收获，使课堂真正成为学生学习的主阵地，成为
该文首先分别从空间和时间两个角度详细讨论了大气湍流引起的光波波前畸变的统计规律.随后分析Hartmann-Shack波前传感器探测精度的各种因素.详细分析了选取不同阈值时Hartma
随着人们环保意识的逐渐增强，环境友好型电动汽车已经成为汽车未来的发展方向。锂离子电池最有可能成为电动汽车的动力电源。然而，商业化的锂离子电池的能量密度和功率密度不能
该文主要是研究点衍射干涉仪的干涉图像处理技术.我们用点衍射干涉仪构成了一个测量被检光学系统波像差的实验光路,将干涉图用CCD采集并输入计算机,然后进行干涉图像的处理,
高速铁路防灾安全监控系统是对危及铁路行车安全的自然灾害（强风、暴雨、大雪、地震）、突发事故（异物侵限）等进行实时监测，实现监测信息分布式获取、集中管理、综合分析与运用，及时
近年来随着轨道交通的快速发展,地铁已成为人们出行的重要方式,而地铁站是其中的重要环节,影响着整个地铁运输的效率。由于大量行人涌入地铁站以及轨道线路交错复杂,造成许多
伴随着高精度、大相对孔径的球面光学系统在红外探测成像、光刻投影物镜等领域的广泛应用，对快焦比球面元件(元件口径与顶点曲率半径之比大于1/3)的高精度干涉检测提出了迫切
当代企业要想在竞争激烈的现代社会中始终较强的竞争力,便需要提高企业资金利用率,促使企业经济效益的稳步提升.本文根据自己所学的知识,提出强化企业会计预算管理的措施.