射频激励技术是近几年来发展起来的一种激光器泵浦技术。与直流放电相比较,射频放电具有激励电压低、效率高、易于快速调制、无阴极溅射、比输出功率高、寿命长、多个波导可共用激励电源、结构紧凑等诸多优点。而使用波导装置使激光器尺寸减小,模式也得到很好的控制。正是由于电光调Q开关射频激励波导CO₂激光器体积小、高脉冲重复频率、调谐范围宽、可编程输出、及输出稳定、适合恶劣环境工作、波长正处于大气透射窗口等独特优势,它已成为激光雷达等应用的理想光源。CO₂激光雷达具有波束窄、定向性好、测量精度高、分辨率高、可主动成像、大气传输性好等优点,在军事、航空、气象、激光加工等领域应用越来越广泛。本文回顾了射频激励波导CO₂激光器的发展历史。对激光器所涉及到的气体射频放电激发基本原理、阻抗匹配、波导激光器基本原理、电光调Q以及腔倒空原理进行了的分析。 电光腔倒空与电光调Q相比,可以获得较高的重频和的峰值功率,以及更快的脉冲前沿。电光腔倒空波导CO2激光器的脉冲宽度一般为十几ns宽度（FWHM）,对于采用脉冲前沿测距方式的雷达来说,可以得到较高的探测精度。但对于同时采用外差体制的雷达系统,要取得有效的中频信号,一般要求激光脉冲包络中的外差信号个数达到3～5个以上。因此,当主振激光器的腔倒空激光脉冲宽度太窄时,对于雷达系统的外差信号的处理非常不利。理论和实验上