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基于共线光外差的微位移测量系统研究与应用
【摘 要】
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随着科学技术的发展,微位移测量技术已经被应用在了各个领域,微位移测量主要包括两种测量方式,一种是接触式测量,另一种是非接触式测量。其中非接触式测量以其不存在接触力且有着测量范围广、速度快、量程大等优点,逐渐成为了微位移测量技术的主要发展方向。其中,光电位置传感器(PSD)作为非接触式测量的优秀器件和光外差测量技术作为非接触式测量优越的测量方法在非接触式测量中都起着极其重要的作用。首先,本文在对PS
【机 构】
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中北大学
【出 处】
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中北大学
【发表日期】
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2021年01期
【基金项目】
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