本论文研究的目的为了实现无线多传感器网络中的振动模块的微小型化，属于前期探讨性论文。基于课题的发展需要提出了用微机械电子系统(MEMS)技术来实现这一模块的微小型化。 本文首先根据课题的背景，详细的分析了所探测的振动信号，建立了相应的数学力学模型，这些数学模型是探测振动信号的理论基础。通过数学模型能清楚的知道信号中各参数之间的关系。然后基于各种因数的考虑，比较了一些传感器的敏感机理，选取了电阻应变式原理来探测振动信号。主要就传感器的敏感芯片和信号处理电路两部分进行了详细的分析讨论，并具体分析了传感器微型化中的一些尺度效应。这些尺度效应对微传感器具体制作有着重要的影响。最后根据前面的分析讨论运用相关软件对这两部分进行了仿真分析，主要就电路部分进行了仿真分析，对以后进行微传感器具体制作实现有着良好的指导作用。并对传感器的性能影响因素进行了研究分析。