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该文在外加控制电压作用下蠕动爬行微电机械的核心元件-薄板电极,其力学变形采用VonKarman薄板理论,考虑了元件变形后电荷分布不均匀引起的电场力非均匀分布,在此基础上,对其力-电耦合作用下的致动器件的弯曲、失稳及失稳后的构形,和接触等问题进行了分析,建立了定量分析的数值程序与方法,给出了相关的设计关注的定量结果.