IC制造装备无齿轮罗茨真空泵永磁同步电动机控制研究

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【摘要】

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【作者】

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吴炜桦

【出处】

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沈阳工业大学

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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罗茨真空泵永磁同步电动机无齿轮传动虚拟电机同步控制

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