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基于动态铜凸检测的TSV热机械可靠性研究
【摘 要】
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基于硅通孔(Through silicon via,TSV)互连的三维封装技术被认为是超越摩尔定律、实现器件小型化、高密度、多功能化的首选技术方案,已成为未来集成电路的发展方向之一。TSV的组成材料和内部结构复杂,是一类典型的异质异构单元。在热载荷作用下,TSV内部材料之间的热失配和复杂结构的不均匀约束导致TSV产生严重的热机械可靠性问题,其中铜凸便是TSV中最常见的一种失效模式。铜凸将影响TSV
【出 处】
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上海交通大学
【发表日期】
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2020年01期
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