MEMS扭转微镜的力学特性分析

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【摘要】

：

微机电系统(MEMS)自20世纪80年代中期发展至今一直受到世界各发达国家的广泛重视，被认为是一项面向21世纪可以广泛应用的新兴技术。MEMS(Micro Electromechanical System)，即微机电系统，是指采用微机械加工技术可以批量制作的集微型传感器、微型机构、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口、通讯等于一体的微型器件或微型系统。目前，MEMS技术几乎可以应用于所有的行业领

【作者】

：

陆静

【机构】

：

哈尔滨工程大学

【发表日期】

：

2007年02期

【关键词】

：

扭转微镜边缘效应迭代修正齐次扩容精细积分力学特性微机电系统

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