空气耦合式电容微超声换能器研究

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【摘要】

：

空气耦合式超声检测技术不需要水浸或耦合剂,具有非接触和完全无损的特点,能够实现快速在线扫查,且适用范围广,在无损检测等领域具有很大优势,而空气耦合式超声换能器是实现力电声多场耦合与能量转换的关键部件。基于MEMS工艺的空气耦合式电容微超声换能器(CMUT)具有阻抗匹配性好、灵敏度高、带宽较宽、体积小、易实现阵列化和易与相关电路集成等优势,因此具有重要的研究价值。本文以空气耦合式超声检测为应用目标,

【作者】

：

赵晓楠

【机构】

：

天津大学

【发表日期】

：

2017年12期

【关键词】

：

电容微超声换能器空气耦合式阻抗匹配阵列声场仿真超声无损检测

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