TiAlCrN膜系的成分、结构与性能研究

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【摘要】

：

多元氮化物硬质膜的研究日趋成熟,一些二元、三元氮化物硬质膜已经在五金刀具等领域取得了应用,例如TiN、CrN、TiCrN、TiAlN硬质膜等。而四元氮化物硬质膜仍处于试验研究阶段,目前还没有在市场上取得应用。CrTiAlN硬质膜是四元氮化物硬质膜中结合力相对较好的。本课题采用Ti-Cr靶、Al-Ti靶和Al-Cr靶分别组合制备成分不同的多组CrTiAlN硬质膜,按照预先设计的方案调整靶电流,获得了

【作者】

：

王宇

【机构】

：

沈阳大学

【发表日期】

：

2018年01期

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