本文通过对面齿轮测量软件的开发实现了其齿距及齿面偏差的测量。首先对面齿轮的齿面进行了网格划分,基于齿轮测量中心建立了面齿轮的测量坐标系,利用等距曲面取代设计曲面进行了测头半径补偿,以其齿面网格中点作为齿距测量点,设计了齿距的测量及误差补偿方案,制定了面齿轮齿面偏差的极坐标及法线极坐标测量方案,推导了齿面偏差的误差计算方程。在Windows系统下基于Visual C++开发了面齿轮测量软件。该测量系统主要包含齿面数据点的读取、零点定位、坐标系的转换、齿距和齿面偏差测量,测量结果的误差分析和图形输出等模块,从而能够直观的对面齿轮进行偏差判定。为了验证测量结果的正确性,将开发的面齿轮测量软件应用于CNC齿轮测量中心上。在齿轮测量中心上对面齿轮试件进行了检测,测试数据证明：利用本文研究的面齿轮测量软件,能够高效地完成对面齿轮的齿距和齿面偏差的自动化测量和结果分析,且测量结果具有可靠性。