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原子发射光谱仪是常用的一族物质成分分析仪器,光谱仪因配用的激发源不同可分为火花光谱仪、电感耦合等离子体(Inductively Coupled Plasma, ICP)光谱仪、辉光放电等离子体光谱仪等多个品种。其中ICP光谱仪因诸多优点成为最为重要的分析仪器之一。在某些特殊应用领域,光谱仪体积的缩小比波长分辩率的要求更加重要,光谱仪微型化已成为分析仪器领域的研究热点之一。目前关于微型光谱仪激发源特别是微型ICP激发源的研究报道很少,从某种意义上讲激发源的微型化制约了光谱仪的微型化研究进程。因此研究开