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MEMS微构件动态特性测试技术，主要包括振动激励、振动测试和模态分析三个方面，激励是实现动态特性测试的基本环节。通过查阅文献，综述了目前应用于MEMS微构件动态特性测试的各种激励技术，并通过比较分析各种激励技术的特点，确定将压电底座激励方式作为研究对象。理论分析了以压电陶瓷为激励振子的底座激励装置在阶跃电压冲击下的动态特性，包括它所能激发的频带宽度和它自身的谐振频率两个方面，在理论上证明了利用该激励装置测试微构件动态特性的可行性。驱动电源的性能在很大程度上决定了压电底座激励装置的动态特性。设计并制作