基于AOTF的Linnik型显微干涉测量系统与方法研究

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【摘要】

：

随着时代的发展,微纳米结构器件的需求越来越多,要求的精度也不断提升,对与之相对应的超精密表面形貌测量技术的要求也越来越高。将表面形貌测量技术从实验室转向工业现场测量是一种发展趋势,其中基于波长调制的干涉测量技术不需要进行机械扫描,适合应用于工业现场,测量速度快,抗干扰能力强。本文设计并搭建了Linnik型显微干涉测量系统,实现多干涉模式测量,主要研究波长扫描干涉测量技术(WSI),变波长移相干涉技

【作者】

：

罗备

【发表日期】

：

2019年01期

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