液压系统广泛应用于机械制造、国防军工等领域,但液压关键部件的服役环境复杂苛刻,极大的威胁了设备运行的稳定性。其中,因磨损失效而导致的设备故障问题尤为常见。然而,传统的镀铬、渗氮、喷涂等表面强化技术对提升液压部件的耐磨性效果有限。类金刚石（Diamond-like carbon,DLC）薄膜因具有优异的耐磨减摩性能,被视为提升机械装备部件耐磨损性能的理想材料。本研究利用中频溅射和线性离子源复合沉积技术,在GCr15基底材料表面制备类金刚石薄膜。探究了不同过渡层结构、基体偏压以及离子源沉积功率等工艺参数对DLC薄膜结构和性能的影响,具体结果如下:（1）在无过渡层、Cr过渡层和Cr/CrN过渡层三种结构的DLC薄膜中,具有Cr过渡层结构的DLC薄膜综合性能最为优异:DLC薄膜硬度和弹性模量达到18.88 GPa和241.83 GPa;薄膜与基底结合力L_c2值为20.0 N;摩擦磨损实验中,与GCr15对磨球（7 N载荷）的摩擦系数为0.17,磨损率为4.01×10^-11 mm³/N·m。（2）基体偏压对DLC薄膜表面质量和性能影响较大。-500 V偏压下制备出的DLC薄膜光滑致密,粗糙度Sa为24.7 nm。沉积负偏压过大、过小都会引起薄膜粗糙度的增大;-700 V沉积偏压下膜基结合力最佳,L_c2值达到28.6 N;薄膜中sp³碳杂化键的相对含量随着负偏压的增加（-100^-700 V）先增加后减少,-500V偏压下沉积的薄膜sp³键相对含量最大;-300 V沉积偏压下的薄膜磨损率最小,仅为3.71×10^-11 mm³/N·m。（3）DLC薄膜结构受线性离子源沉积功率（0.4¹.6 kW）影响较大。随着离子源功率的增加,沉积效率不断增加,但sp³杂化键的相对含量却逐渐下降。-500 V沉积偏压下,过高的离子源功率（1.6 kW）引起了DLC薄膜性能劣化:薄膜表面粗糙度增加,摩擦系数增至0.21,磨损率升至7.78×10^-11 mm³/N·m（7 N载荷）。本文旨在开发一种可用于液压关键部件表面且具有耐磨减摩效用的DLC薄膜。实验通过优化DLC薄膜的沉积参数,在液压换向阀表面成功制备出了高质量的Cr/DLC薄膜,使换向阀的耐磨减摩性能明显提升,使用寿命延长了3倍以上。