干涉仪长期以来都是光学车间最精密的光学表面检测仪器，干涉仪技术也已经从最初的牛顿干涉环判读发展到现在主流的相移式干涉仪。目前，国际先进的干涉仪测量精度已经达到PV值精度λ/10～λ/20，已经能够满足常规的光学表面测量。　　但是在一些特殊的光学工程领域，对光学表面的检测精度指标已经超出了现有干涉仪的检测精度。目前，解决这一问题的技术途径有两个。一是干涉仪绝对测量技术。它首先标定出干涉仪参考面误差，利用标定数据提高干涉仪精度。另一种方案是建立点衍射干涉仪。它利用点衍射产生的理想球面波作为干涉仪参考面，这样就能克服干涉仪参考面的制造极限对干涉仪测量精度的限制。随机球标定技术是其中一种有希望能够标定出干涉仪参考面误差，提高干涉仪精度的干涉仪绝对测量技术之一。　　论文在充分查阅干涉仪测量原理和干涉仪绝对测量等相关文献的基础上，从理论、实验和仿真三个方面对随机球标定技术进行了研究。论文取得的成果与创新有：一、对动态状态下的随机球标定技术进行了理论分析；二、对影响随机球标定技术精度的因数进行了实验，确定各个因数的最佳值；三、建立了随机球仿真模型，为随机球标定技术的仿真实验打下基础。