铁电薄膜电畴及其性能的扫描力显微镜研究

被引量 : 4次 | 上传用户:kongct_2006
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扫描力显微镜(Scanning Force Microscopy, SFM)已经发展成为研究铁电薄膜材料电畴结构、电畴特性及其电性能的关键工具和方法。在众多的SFM 模式中又以压电响应模式(Piezoresponse Force Microscopy, PFM)为最主要的研究手段。铁电薄膜电畴成像是利用PFM研究铁电薄膜电性能的首要条件。作为一种具有纳米级分辨率的表面分析手段,PFM 电畴图像的解读是继续对铁电薄膜其他性能进行研究的关键。研究从PFM 电畴成像入手,讨论了样品表面“状况”,样品结构及
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