膜-基界面的结构表征及能量计算

被引量 : 7次 | 上传用户：eimayao

【摘要】

：

对于薄膜特别是柱状晶薄膜,当晶粒在膜平面内的尺寸大于膜厚时,柱状晶粒的上底面(即自由表面)和下底面(即膜-基界面)的面积将大于侧面(即晶界面)的面积,因此薄膜中的晶粒生长除像整体材料中的晶粒生长一样考虑晶界能外,还需要考虑表面能和界面能,因为各向异性的表面能和界面能将导致薄膜中的异常晶粒生长和织构变化。另外膜-基界面结构及能量除直接影响膜-基结合强度外,对薄膜本身的性能也有一定影响。本文采

【作者】

：

辛红

【机构】

：

陕西师范大学

【发表日期】

：

2005年04期

【关键词】

：

Si基体界面能异常晶粒生长 MEAM

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