论文部分内容阅读
在大口径光学元件高质量薄膜的制造过程中，对于透射率和反射率的均匀性测试是非常困难的。本论文介绍了一套专门设计的具有多功能、高精度、大口径、宽角度特点的大口径光学元件光谱性能以及均匀性测量装置。它能够实现口径350×600mm，厚度70mm的光学元件在0到70度入射角下，近紫外、可见光以及近红外连续光谱范围(340-1060nm)内，p-偏振光和s-偏振光透射率和反射率的自动测量。 本论文首先从理论上研究了大口径光学元件透射率和反射率的测量方法。以该方法为基础，具体分析了相关