在镀膜领域中,离子源的辅助能极大地提高薄膜性能,为探究离子源与基片表面相互作用机理,对离子束性质的研究成为人们的研究热点。其中,离子电流作为离子束诸多研究方向当中的重点,备受人们的关注。检测离子电流的方法也由此发展而来,出现了探针法、霍尔电流传感器法、罗果夫斯基线圈法等诸多方法。然而,由于形成离子束的等离子体内部各个粒子间相互作用,导致其放电反应类型较复杂,因此需要利用等离子体诊断的方法进行离子束性质的诊断来判断其放电反应类型。作者在研究了离子源的种类和测试离子电流的方法,并对等离子体性质进行了分析后确定了本文的研究内容。本文基于霍尔效应原理设计研发霍尔效应电流测试系统,利用该系统分别检测了Ar、O2、2N2三种气体阳极层离子源在气压0.1Pa,离子源工作功率250W,气体流量10sccm条件下,分别将其中一个作为变量的离子束流密度,对电流检测结果用发射光谱进行了分析,分析表明,虽然由于电流收集位置的限制,导致霍尔电流传感器测试系统收集到的电流远小于离子源阳极电流,但是,该测试系统对于不同离子源电流的变化趋势的测定与阳极电流变化趋势符合较好。结果表明,在气体流量为2-20sccm,气压0.1-0.6Pa,离子源工作功率为10-400W的条件下,利用霍尔效应电流传感器可以进行离子电流的检测,并且结果符合较好。