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介绍了一种多点式压力测量传感器系统结构的设计方案。该结构采用分层设计的思想,主要由上覆盖层、上电极、传感器主体结构、下电极以及下覆盖层构成,并选择导电橡胶作为传感单元,可以较好地消除维问耦合,减小计算的复杂性。
多点式压力测量传感器结构研究
【摘 要】
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介绍了一种多点式压力测量传感器系统结构的设计方案。该结构采用分层设计的思想,主要由上覆盖层、上电极、传感器主体结构、下电极以及下覆盖层构成,并选择导电橡胶作为传感单元,可以较好地消除维问耦合,减小计算的复杂性。
【机 构】
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安徽大学物理与材料科学学院
【出 处】
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机电信息
【发表日期】
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2012年06期
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