【摘 要】
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离子源作为一种离子束发射装置,常用于光学薄膜的制备中,但离子束中包含各种能量的离子,在光学薄膜制备过程中严重影响着薄膜成型后的微观结构和性能.针对目前国内外离子源普遍存在输出能谱过宽的缺点,以电磁场理论为基础,并对各能级的离子运动轨迹进行了仿真分析,设计了一种离子能量筛选器,仿真结果表明,经过筛选器筛选后能有效剔除过高和过低能量的离子,偏离中心离子能量负100eV的筛选率,已达到82.24％,在光学薄膜制备领域中具有良好的应用前景.
【机 构】
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西安工业大学光电工程学院,陕西西安710021;北方光电集团有限公司,陕西西安710065
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离子源作为一种离子束发射装置,常用于光学薄膜的制备中,但离子束中包含各种能量的离子,在光学薄膜制备过程中严重影响着薄膜成型后的微观结构和性能.针对目前国内外离子源普遍存在输出能谱过宽的缺点,以电磁场理论为基础,并对各能级的离子运动轨迹进行了仿真分析,设计了一种离子能量筛选器,仿真结果表明,经过筛选器筛选后能有效剔除过高和过低能量的离子,偏离中心离子能量负100eV的筛选率,已达到82.24％,在光学薄膜制备领域中具有良好的应用前景.
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