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目前，TFT行业8.5代线工厂中，CF基板微观缺陷的在线检出主要依靠AOI设备。AOI设备的原理：通过数量巨大的LineCCD对基板进行拍照，然后AOIPC通过生成的灰度图像依据5点法对基板各点的灰阶值进行对比，检出微观缺陷，并对缺陷进行判级。目前的AOI设备由于五点比对法的限制只能检测基板的微观缺陷，宏观缺陷的在线检出主要依靠Mura设备，Mura设备主要依靠CCD生成精度较低灰度图像由OP人眼进行检测，这种宏观检测方法自动化低，依靠人眼，准确率的稳定性也很难保证。文章提出一种同时具有宏观缺陷检出能力的