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<正> 美国空气产品和化学品公司已推出3种新品级电子工业用高纯特气。第一种产品是兆位级硅烷。因其掺杂物和金属含量较低,因而其电阻率大于10000Ωcm。其特点是其中的碳和氧杂质含量低于10-9级,可充装在经过特殊处理的容量为5、10、15kg的钢瓶中。并用于CVD氧化
空气产品公司推出新品级特种气体
【摘 要】
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<正> 美国空气产品和化学品公司已推出3种新品级电子工业用高纯特气。第一种产品是兆位级硅烷。因其掺杂物和金属含量较低,因而其电阻率大于10000Ωcm。其特点是其中的碳和氧
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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1995年01期
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