【摘 要】
：
对薄膜晶体管(TFT)像素区域的非晶Si(a-Si)进行刻蚀是TFT-LCD行业的主要工艺之一,通常在电容耦合射频真空放电设备中采用Cl2和SF6作为刻蚀反应气体实现。为了保证刻蚀速率并
论文部分内容阅读
对薄膜晶体管(TFT)像素区域的非晶Si(a-Si)进行刻蚀是TFT-LCD行业的主要工艺之一,通常在电容耦合射频真空放电设备中采用Cl2和SF6作为刻蚀反应气体实现。为了保证刻蚀速率并节省工艺循环时间,同时又控制用气成本,需要获取最佳的气体使用量。本文通过调整Cl2和SF6的用量,研究了a-Si的刻蚀速率和均匀性的变化关系。研究表明,当Cl2用量大于5000 m L/min时,刻蚀速率无明显变化;当SF6少量增加时也能够加速a-Si刻蚀。同时,通过光谱分析系统对a-Si和光刻胶的刻蚀反应进行了分析,与刻蚀率测试结果相同。
其他文献
基于动网格方法建立了干式真空泵罗茨型吸气级的三维瞬态数值计算模型。模拟结果与抽速曲线对比,入口压力为1000 Pa时误差为11.5%,100 Pa时误差为34.2%,表明计算流体力学(CFD
随着新课改的不断深入,作为一名初中体育教师,应着重思考如何在体育教学中融入新的教学理念,如何让体育教学在新课改中不落伍等问题。中长跑教学是中学体育教学中令教师感到
目的建立食管癌原位模型。方法将人食管癌原代肿瘤组织缝合于裸鼠食管表面,以完成食管癌原位模型的建立,并以该模型考察紫杉醇对食管癌的治疗情况。结果食管癌原位模型成功建
目的分析带状疱疹的临床流行病学相关资料,探讨其流行病学特征。方法回顾性分析我院皮肤科病房,于2016年9月~2016年11月确诊的带状疱疹患者的临床资料,对患者的年龄、既往病
<正>铁皮石斛为兰科多年生附生草本植物,具有独特的药用价值,属补益药中的补阴药,对于肿瘤患者的阴虚发热、疼痛、恶心呕吐、神疲乏力等阴虚内热的症状具有很好的药用价值。
在对 14台数控车床进行长达两年的现场故障信息跟踪收集的基础上,建立了可靠性信息数据库;重点研究了数控车床故障间隔时间的分布模型,并给出了可靠性特征量函数.
发达国家的金融法治实践表明,保护金融消费者是金融市场得以健康发展的重要保障。我国应遵循这一新型金融监管理念,在正确选择立法模式的基础上,合理界定金融消费者、建立专
本文提出了一种基于TMS320F28335的频率测量方法,用于监测电力系统的电能质量。该方法采用DSP的eCAP模块和通用定时器对输入信号的上升沿进行捕捉,通过记录两个上升沿的触发
文章主要介绍线路板行业重要三个湿制程:沉铜、板电、图电对孔内无铜的影响,通过对三个湿制程的流程优化及设备改造,大幅度降低了孔内无铜的报废率。同时,文中详细介绍了沉铜
目的观察卡培他滨联用奥沙利铂(XELOX方案)与奥沙利铂联合替吉奥(SOX方案)治疗进展期胃癌的临床疗效和安全性,为进展期胃癌治疗方案的选择提供参考。方法以120例接受XELOX方