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建立了电容式微加速度计的结构模型，运用有限元分析方法对其进行模态分析，研究了微加速度计结构尺寸对谐振频率和模态振型的影响，得出了结构尺寸对这两者的影响规律，为此类加速度计的结构设计提供了依据。
电容式微加速度计结构的建模及仿真
【摘 要】
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建立了电容式微加速度计的结构模型，运用有限元分析方法对其进行模态分析，研究了微加速度计结构尺寸对谐振频率和模态振型的影响，得出了结构尺寸对这两者的影响规律，为此类加速度
【机 构】
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中国科技大学精密机械与精密仪器系
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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1999年4期
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