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用电子束蒸发制备一系列纳米ZnO薄膜，用XRD和AFM研究其结构和形貌，重点研究其拉曼谱．ZnO靶的拉曼谱出现了4个明显的峰，与文献报道基本一致．室温下沉积的ZnO薄膜中存在大量缺陷和氧空位，其拉曼频移只有LO模和低频E2模，且其LO模有相对频移，峰展宽，强度加强．ZnO膜的高频拉曼谱对其结构不敏感，各种制备条件下的ZnO膜其高频拉曼谱基本一致．对拉曼谱，结合XRD和AFM分析给出了初步的解释．