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用离子束辅助沉积方法合成Ｆｅ－Ｎ薄膜，用离子束背散射和Ｘ射线衍射方法分析薄膜成分和结构，结果表明，薄膜的组分取决于沉积参数，给出了沉积温度和Ｎ／Ｆｅ原子到达比组成的相区域图。
离子束辅助沉积Fe—N薄膜的相形成
【摘 要】
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用离子束辅助沉积方法合成Ｆｅ－Ｎ薄膜，用离子束背散射和Ｘ射线衍射方法分析薄膜成分和结构，结果表明，薄膜的组分取决于沉积参数，给出了沉积温度和Ｎ／Ｆｅ原子到达比组成的相区域图。
【机 构】
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清华大学
【出 处】
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金属学报
【发表日期】
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1994年6期
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