湿膜成像技术微带工艺精度

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为更好实现微带电路设计人员设计意图,提高微带片光刻精度,本文介绍了使用新型湿膜抗蚀剂(Wet Film Photoresis)替代干膜抗蚀剂(Dry Film Photoresist)的工艺改进方法;从结构和原理上分析了干膜与湿膜的不同,给出了对比的实验结果;用湿膜可较好做出50-100微米(2-4mil)线条、间隙,明显提高了工艺精度。
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