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本文从阳极氧化铝基板的生产工艺流程等方面入手,结合切片观察的手段,探讨了在沉镍钯金表面处理时阳极氧化铝基板绝缘层上金的形成原因,并提出了相应的应对措施。研究表明,对阳极氧化层表面所覆盖的钛层的蚀刻处理不当导致Al_2O_3绝缘层被破坏,是后续过沉镍钯金时Al_2O_3绝缘层上金的成因;而选用NH4F溶液进行钛层的蚀刻处理,能够有效解决Al_2O_3绝缘层的上金问题。