定容式气体微流量校准装置吸放气特性研究

来源 :宇航计测技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sweetyjiaxin

【摘要】

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介绍了定容式气体微流量校准装置的组成和工作原理,对流量计吸放气特性进行了实验研究,给出了静态压力上升速率曲线,并对实验结果进行了理论分析,得出了对于结构复杂的真空系

【作者】

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郭美如张涤新赵澜赵定众

【机构】

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兰州物理研究所

【出处】

：

宇航计测技术

【发表日期】

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2005年2期

【关键词】

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气体微流量校准装置特性研究定容放气特性真空系统工作原理实验研究上升速率静态压力分析系统使用情况流量计放气率长时间结构 Consta

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介绍了定容式气体微流量校准装置的组成和工作原理,对流量计吸放气特性进行了实验研究,给出了静态压力上升速率曲线,并对实验结果进行了理论分析,得出了对于结构复杂的真空系统要结合系统各组件的结构、历史使用情况等因素来分析系统的吸放气特性,在一定的温度下长时间全面烘烤是降低真空系统放气率的有效途径.

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