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多晶硅太阳电池的有效等离子体氢钝化

来源 :云南师范大学学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：drygps

【摘 要】

：

A simple equipment and process for hydrogen passivation of multicrystalline silicon (mc-Si) solar cells are reported in this work. Hydrogen plasma is generated

【作 者】

：

胡志华 刘祖明 陈庭金 廖显伯 廖华 

【机 构】

：

中国科学院半导体研究所,云南师范大学太阳能研究所,中国科学院半导体研究所

【出 处】

：

云南师范大学学报：自然科学版

【发表日期】

：

2002年2期

【关键词】

：

多晶硅太阳电池 等离子体 氢纯化 辉光放电方法 光电转换效率 伏安特性 multicrystalline silicon  solar cells  plasm 

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A simple equipment and process for hydrogen passivation of multicrystalline silicon (mc-Si) solar cells are reported in this work. Hydrogen plasma is generated by means of AC glow discharge in hydrogen atmosphere. Hydrogen passivation is carried out with

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