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采用化学气相沉积（ＣＶＤ）法制备ＺｎＳ块状多晶红外窗口材料，试验通过发迹炉内压力、增加Ａｒ气稀释量以及改变Ｈ２Ｓ进气位置来研究沉积速率的均匀性。试验结果表明，炉内压力降低和增大Ａｒ气稀释量，可提高晶体在衬底上的沉积速率均匀性，但沉积速率下降。改Ｈ２Ｓ进气位置，有效地改善了Ｈ２Ｓ气体的均匀分布，可提高沉积速率的均匀性，同时也提高沉积速率，交对显微组织和红外光谱性能进行了观察测试。