双折射双频HeNe激光器功率调谐纳米测量研究

来源 :激光与红外 | 被引量 : 0次 | 上传用户：huangwei0541

【摘要】

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提出一种基于双折射双频HeNe激光器功率调谐特性的纳米测量原理。当双折射双频HeNe激光器谐振腔长变化时，利用分裂的两个频率的寻常光(o光)和非寻常光(e光)功率调谐特性实现大

【作者】

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李岩张书练傅杰许志广

【机构】

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清华大学精密仪器与机械学系

【出处】

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激光与红外

【发表日期】

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2001年2期

【关键词】

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双折射双频HeNe激光器纳米测量功率调谐惰性气体激光器 birefringent dualfrequency HeNe laser displaceme

【基金项目】

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国家自然科学基金，国家重点基础研究发展计划(973计划)，北京市自然科学基金

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提出一种基于双折射双频HeNe激光器功率调谐特性的纳米测量原理。当双折射双频HeNe激光器谐振腔长变化时，利用分裂的两个频率的寻常光(o光)和非寻常光(e光)功率调谐特性实现大范围里λ/2(约为0.3μm)低分辨率的测量，在λ/2范围里用o光和e光的等光强点实现纳米级分辨率的测量。将大范围的粗测和小范围的精测结合起来实现较大范围的纳米测量。

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