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由于具有抛光速率快、选择性好、自动停止等特点,二氧化铈浆料被广泛用于材料的表面抛光处理,但抛光机理研究的相对滞后严重制约其物化改性和推广。针对这一现状,本文介绍了二氧化铈浆料抛光过程中的物理作用及化学作用,总结了化学机械抛光机理,并对今后研究方向提出了展望。
二氧化铈浆料抛光机理的研究进展
【摘 要】
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由于具有抛光速率快、选择性好、自动停止等特点,二氧化铈浆料被广泛用于材料的表面抛光处理,但抛光机理研究的相对滞后严重制约其物化改性和推广。针对这一现状,本文介绍了
【机 构】
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江西桑海经济技术开发区安全生产监督管理局; 中南大学资源加工与生物工程学院;
【出 处】
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稀土
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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科技部国际科技合作项目资助(2005DFBA028)
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