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真空镀膜设备是电子行业、半导体行业、光学、太阳能薄膜及玻璃等行业生产和研制过程中广泛使用的设备,随着这些行业的快速发展,市场对镀膜设备性能的要求越来越高。本文对蒸镀式真空镀膜机的工作原理进行详细的介绍,并对常见镀膜设备出现的故障进行深入分析。
蒸镀式有机物真空镀膜机工作原理及常见故障分析
【摘 要】
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真空镀膜设备是电子行业、半导体行业、光学、太阳能薄膜及玻璃等行业生产和研制过程中广泛使用的设备,随着这些行业的快速发展,市场对镀膜设备性能的要求越来越高。本文对蒸
【机 构】
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上海理工大学,光驰科技（上海）有限公司
【出 处】
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中国水运:下半月
【发表日期】
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2020年3期
【基金项目】
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上海市宝山科委科技创新产学研项目:基于大数据的智能型镀膜机开发(17-C-17)
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