【摘 要】
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为了提高钬合金的耐磨性能,采用磁控溅射技术在TA19钛合金表面制备了TiAIN硬质薄膜。采用扫描电镜、能谱仪和X射线衍射分析了薄膜的表面和截面形貌,成分分布以及相结构。分别
【机 构】
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南京航空航天大学材料科学与技术学院
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(51474131),江苏高校优势学科建设工程资助项目(PAPD).
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为了提高钬合金的耐磨性能,采用磁控溅射技术在TA19钛合金表面制备了TiAIN硬质薄膜。采用扫描电镜、能谱仪和X射线衍射分析了薄膜的表面和截面形貌,成分分布以及相结构。分别以5 m/min、10 m/min及20 m/min的滑动速度对未制备和制备了TiAlN薄膜的TA19合金进行了球-盘磨损试验,以揭示其摩擦磨损特性。结果表明:TiAlN薄膜表面均匀、无孔洞,厚度约3.6μm;平均显微硬度达1 208.2 HV0.1,比TA19合金提高了近3倍;滑动速度不同,TiAlN薄膜的摩擦因数、磨损速度和比磨损率
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