多弧离子镀(Cr,Ti,Al,Zr)N多组元超硬梯度膜的结构及性能

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(Cr,Ti,Al,Zr)N梯度膜性能优异。采用多弧离子镀技术,使用Ti—Al—zr合金靶和Cr单质靶在高速钢表面制备(Cr,Ti,Al,Zr)N多元超硬梯度膜,利用扫描电镜、能谱、X射线衍射仪、硬度计、划痕仪对膜层形貌、成分、结构、硬度、附着力进行分析,并通过热震性能试验考察了膜层的抗热震性能。结果表明:制备的膜层为面心立方结构,择优生长取向为(220)面;与TiN,(Ti,Al)N,(Ti,Cr)N,(Ti,Al,Zr)N等硬质膜相比,制备的(Cr,Ti,Al,zr)N多元梯度膜具有更高的硬度和膜/基
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