【摘 要】
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MEMS麦克风是一种将音频信号转换成电信号的微型传感器,目前应用比较普遍,在产品应用的过程中会遇到不同的产品失效的问题,若对MEMS麦克风的失效样品进行归类分析,找到产品失
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MEMS麦克风是一种将音频信号转换成电信号的微型传感器,目前应用比较普遍,在产品应用的过程中会遇到不同的产品失效的问题,若对MEMS麦克风的失效样品进行归类分析,找到产品失效的根本原因,对产品的生产和应用将具有非常重要的意义。本文主要针对麦克风众多失效问题的一种--灵敏度异常问题,应用显微镜、扫描电镜(SEM)和聚焦离子束(FIB)等设备对其失效样品地进行了深入的分析,总结了此类失效分析样品的分析思路和失效机理,对MEMS麦克风样品的失效分析研究有很好的借鉴意义。
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Journal of Measurement Science and Instrumentation(CN14-1357/TH,ISSN 1674-8042)is published by North University of China.It is a comprehensive academic journal,